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2枚の精密ミラーのみで構成された光学系により、球面収差・コマ収差・非点収差
は極限まで補正され回析限界性能を生み出しています。
従来の透過レンズを使用した屈折型対物レンズに見られる色収差・光透過ロスは
皆無です。
160㎜鏡筒長と0.17カバーグラスを前提に最適な性能を得るように組み立てられて
います。
各レンズの適用範囲を広げるために内部ミラーの位置の調整機能を備えています。
さらに74×には鏡筒長とカバーグラス厚の調整機構も装備されています。
使用できる主なアプリケーション
● FTIRフーリエ変換赤外分光・分析
● UV度量衡、UV顕微鏡分析
● 半導体ウエハー検査
● 顕微鏡写真
● 薄膜計測
● レーザービームの移動(フォーカシング)
● レーザー加工
● レーザーマーキング
● レーザーポンピング
● 熱イメージ顕微鏡
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5002の詳細図
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