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分解能テストチャート2 : USAF1951

 

     ● 1951USAF分解能テストチャートは1951年アメリカ空軍MIL-STD-150A規格で定義された顕微鏡光学の

        分解能試験装置です。

     設計は精密空間周波数の標本ステップの品揃えを示す多数のターゲットを提供する顕微鏡・カメラ               画像スキャナーなどのイメージングシステムの解析と検証を行うための装置です。(出展:Wikipedia)

 

 

    GRATICULE社製品

 

上記は基本チャートR70 仕様

 

上記は基本チャートR71の仕様

上記は基本チャートR75Pの仕様

 

上記は基本チャートR75Nの仕様

 

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概要

 

 光学系機能:水平方向と垂直方向の1対の3バーチャートで構成されており、

 各ラインは固有の線幅と空間を持ち、通し番号がふられています。

 写真処理の過程における数的許容誤差の決定にこのチャートの使用が

 最も一般的です

 

   【主な用途】

  フォトリソグラフ・ナノテクノロジー・高倍率ビデオレンズ、

  顕微鏡などや各種ビジョンシステムの解像力テスト用に使用

  されます。

 

特徴

 

 ■ 基本チャート

 全体は50㎜角と75㎜角の基板上にパターンをクロム蒸着してあります。

 100本/㎜~228本/㎜までを表示、ポジパターン、ネガパターンの

 2種類からお選びいただけます。

 

 

■ ステージ目盛型

  アルミニューム製スライド基板(76×25×1㎜)中央のガラスマウントに

 パターンを蒸着してあります。

 400本/㎜~644本/㎜までを表示、ポジパターン・ネガパターンの2種類

 からお選びいただけます。

 

 

         

 

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       Applied Image社製品

 

 

★上の写真はポジパターンです

 

★上の写真はネガパターンです

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概要

 

 光学系機能:写真処理の過程における数的許容誤差の決定に

 このテストチャートの使用が一般的です。

 

特徴

 

 ■ 標準型大型タイプ

 全体は100㎜角のガラス基板上に50×48㎜角の大きさで

 パターンをクロム蒸着してあります。

 1本/㎜~228本/㎜(T20Mは512本ネガパターン)までを

 48段階で表示、ポジパターン・ネガパターンの2種類から

 お選びいただけます。

        

  

 

      *収納用Wood Boxのイメージ

        

 

 

 

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    Applied Image社製品 1列サイクルマーク

 

 

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概要

 パターンは渦巻パターンシングルと2列パターンがあり

 各々ガラス基板に蒸着されています。

特徴

 

 各パターンの黒線とスペースは従来の基本形と同じML-STD150Aに

 準拠しています。

 全体は102㎜角の大型基板を使用し、マークはサイクル/1㎜で

 表示され、各パターンの空間周波数を直読することが出来るため、

 パターン群対応表との照合確認が不要です。

 

   ■ サイクルマークチャート(1列)

 

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    Applied Image社製品 2列サイクルマーク

 

 

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概要

 

 パターンは基本チャートと同じ基準で蒸着され、マークは

 サイクル/㎜で表示パターン群は縦2列で配置されています。

 

特徴

 

 各パターンの黒線とスペースは従来の基本型USAF1951

 チャートと同じ基準で蒸着され、ML-STD-ISOAに

 準拠しています。

 各パターンはサイクル/㎜表示で空間周波数を直読可能です。

 また、パターン群は順序良く縦2列に配置され、スキャニングがより確実、容易になりました。

 

  ■ 連続2列配置サイクルマークチャート

   

 

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